Die Studierenden erlernen wissenschaftlich-technische Verfahrensschritte auf dem Gebiet der Mikrotechnologie zur späteren selbstständigen Tätigkeit im Berufsleben. Sie erarbeiten sich Kenntnisse über die Herstellungswege und Prozessabläufe der Mikrosystemtechnik und der dazugehörigen Technologien. Kenntnisse werden an folgenden Beispielen vertieft: Drucksensoren (Si-Volumenmikromechanik) oder lichtoptischer Sensor. Die Lehrziele werden durch praktischen Umgang mit Anlagen der Halbleiter- bzw. Mikrosystemtechnik vertieft. Ein 20 min Vortrag zu speziellen Themen des Prozessablaufs verstärkt das Verständnis.